電容位移傳感器的精度決定著顯微鏡工作臺的精度
　　無論是生物工程中的細胞操作、集成電路或光電子器件的加工,還是采用電子顯微鏡進行納米操作,盡管其精度要求各不相同,但在硬件裝備中均有一項共性的關鍵技術,那就是要解決載物臺或其相應設備的高精度的自動測量和定位。要實現這項關鍵技術,高精度控制系統是非常重要的。搭建了一種閉環控制系統,用于控制某特性顯微鏡工作臺。傳感器的使用是閉環控制中*的一環，電容位移傳感器的精度決定著系統的精度。
　　顯微鏡移動臺在移動停止后會有一定的反彈，平臺移動總的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺的移動精度。可以使用電渦流傳感器測量平臺的較大范圍的移動，使用電容位移傳感器測量反彈的微小位移。
　　電容位移傳感器是一種非接觸式的電容式傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不同的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。
　　作為測量模塊限定的精度，位移傳感器經常在復雜的測量系統的中心用于檢查尺寸找到。在這方面的非常高的要求在性能和可靠性方面置于位移傳感器。重要的應用范圍是精度和溫度穩定性，分辨率和截止頻率。
　　電容位移傳感器測量的方法是基于理想板型電容器的原理。在板的間隔的變化引起的總容量的變化。具有傳感器系統的兩個板狀電極是由傳感器和目標形成的。如果在交替的恒定頻率的電流流過傳感器電容器，傳感器上的交變電壓的幅度正比于到目標（接地電極）的距離。通過板電容器的電抗XC的一個特殊評價，嚴格的比例關系是獲得沒有額外的線性化。在實踐中，這幾乎是理想的情況是線性版權由傳感器作為保護環的電容器的設計。這適用于所有的金屬作為的導電性的目標無關。
　　與半導體測量對象相對低電導率的金屬相比，具有對測量原理不利效果，因為這里有可以是在目標電荷輸送不足。在這種情況下，所述可以在目標的導電性被發現確實是“人為”，通過增加，例如，由測量點的合適的照明。這種效應被稱為“光電導”可以增加目標材料的導電性，許多大小等促進電容位移傳感器的應用程序。